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      3D IC集成與硅通孔TSV互連
      

        
2012-06-26
轉載于網絡佚名3360
      

      導讀
      重點討論了垂直互連的硅通孔(TSV)互連工藝的關鍵技術及其加工設備面臨的挑戰．提出了工藝和設備開發商的應對措施并探討了3DTSV封
      

      重點討論了垂直互連的硅通孔(TSV)互連工藝的關鍵技術及其加工設備面臨的挑戰．提出了工藝和設備開發商的應對措施并探討了3DTSV封裝技術的應用前景。
      

      

      

       
      

      
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